首先进行了仿真分析，微槽深度为0.3mm，上部宽度取0.14mm，下部宽度取0.06mm，槽间距为0.2mm。刻微槽后的换热表面积约为刻微槽前的3.6倍。刻微槽后铝板温度从479.4K降至367.1K。不刻微槽和刻微槽情况下，铝板与空气之间的平均等效对流换热系数分别为5.37W/㎡·K和3.75W/㎡·K。刻微槽后降为原来的0.7。 

　　根据仿真要求和所设计的参数展开工艺实验，调节激光扫描频率、图形填充密度、加工能量、系统移动速度等。改进加工思路，通过微槽阵列测试加工工艺，通过5组平板实验，最终验证矩阵阵列加工，不但将加工时间大大缩短为原来的1/10，同时解决加工不稳定现象。 

　　通过工艺探索研究，最终解决传统机械刀具加工方式无法实现的微槽加工，激光去除加工工艺，实现微槽宽100微米，间距200微米，深度在10-300微米范围内。该加工工艺主要解决任意复杂曲面微槽加工，可控制微槽加工深度、宽度，精度10微米内，可加工硬脆性材料。

图2、五轴联动激光加工系统加工半球形帽盖样品

图3、半球形帽盖样品经过激光加工后布满微槽

图4、激光共聚焦显微镜下测量加工的微槽